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鋁蝕刻液成分分析——磷酸、硝酸、醋酸有多少?

檢測樣品:鋁蝕刻液

檢測項目:磷酸 硝酸 醋酸

方案概述:蝕刻是將材料使用化學(xué)反應(yīng)或物理撞擊作用而移除的技術(shù)。最早可用來制造銅版、鋅版等印刷凹凸版,也廣泛地被使用于儀器鑲板,銘牌等的加工;經(jīng)過不斷改良和工藝設(shè)備發(fā)展,亦可以用于航空、機械、化學(xué)工業(yè)中電子薄片零件精密蝕刻產(chǎn)品的加工,特別在半導(dǎo)體制程上,蝕刻更是*的技術(shù)。

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更新時間2021年12月08日

上傳企業(yè)上海儀電科學(xué)儀器股份有限公司

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蝕刻是將材料使用化學(xué)反應(yīng)或物理撞擊作用而移除的技術(shù)。最早可用來制造銅版、鋅版等印刷凹凸版,也廣泛地被使用于儀器鑲板,銘牌等的加工;經(jīng)過不斷改良和工藝設(shè)備發(fā)展,亦可以用于航空、機械、化學(xué)工業(yè)中電子薄片零件精密蝕刻產(chǎn)品的加工,特別在半導(dǎo)體制程上,蝕刻更是*的技術(shù)。

鋁是半導(dǎo)體工藝中最主要的導(dǎo)體材料。它具有低電阻、易于淀積和刻蝕等優(yōu)點。鋁蝕刻液主要成分是磷酸、硝酸、醋酸及水,其中磷酸、硝酸、醋酸及水的組成比例會影響到蝕刻的速率,故需要對這種混酸溶液的成分進行分析。

 

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